застосування
Універсальна конструкція, розумна структура та форма. Сканувальна головка та столик для зразків сконструйовані разом, сильна антивібраційна продуктивність. Точне лазерне виявлення та пристрій вирівнювання зонду роблять лазерне налаштування простим і легким. Адаптуйте серводвигун, щоб керувати зразком, що наближається до наконечника вручну або автоматично, щоб реалізувати точне позиціонування області сканування. Пристрій передачі зразка з високою точністю та великим діапазоном дозволяє сканувати будь-яку цікаву ділянку зразка; Різні типи сканерів відповідають різним вимогам замовника щодо точності та розміру сканування; оптична система спостереження для перевірки наконечників та зразків позиціонування. Система спостереження ПЗС для спостереження за областю зразка та позиціонування в реальному часі; Використовуйте серводвигун для досягнення автофокусування ПЗС. Електронна система розроблена як модульна та проста в обслуговуванні та розробці. Інтегрована електроніка керування багатьма робочими режимами для подальшого розвитку.
Ключові особливості
1. Сканувальна головка та столик для зразків спроектовані разом, мають сильні антивібраційні властивості
2. Точне лазерне виявлення та пристрій вирівнювання зонду роблять лазерне налаштування простим і легким;
3. Адаптуйте серводвигун, щоб керувати зразком, що наближається до наконечника, вручну або автоматично, щоб реалізувати точне позиціонування області сканування.
4. Пристрій передачі зразка з високою точністю та великою дальністю дозволяє сканувати будь-яку цікаву ділянку зразка;
5. Оптична система спостереження для перевірки наконечника та позиціонування зразка.
6. Електронна система розроблена як модульна та проста в обслуговуванні та подальшому розвитку.
7. Прийміть пружину для віброізоляції, просту та хорошу продуктивність.
Специфікація
Операція | Контактний режим, режим тертя, | Кут сканування | Випадковий |
Обсяг вибірки | Ø≤90 мм, H≤20 мм | Зразок руху | 0~20 мм |
Макс.сканування | X/Y: 20 мкм, Z: 2 мкм | Ширина імпульсу двигуна, що наближається | 10±2 мс |
роздільна здатність | X/Y: 0,2 нм, Z: 0,05 нм | Оптична система | Збільшення: 4x, |
Швидкість сканування | 0,6 Гц ~ 4,34 Гц | Точки даних | 256×256,512×512 |
Сканування | XY: 18-бітний D/A, Z: 16-бітний D/A | Тип зворотного зв'язку | Цифровий зворотний зв'язок DSP |
Вибірка даних | Один 14-бітний A/D і подвійний 16-бітний A/D багатоканальний одночасно | ||
підключення до ПК | USB2.0 | Частота дискретизації зворотного зв'язку | 64,0 кГц |
вікна | Сумісний з Windows 98/2000/XP/7/8 |
Стандартний
GB/T 2985-1991
Реальні фотографії